algan材料xrd检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
xrdi技术说明。
无缺陷的晶体产生的x射线衍射信号的强度是均匀一致分布的,而晶体的缺陷会导致晶体的形变以及衍射强度的变化。衍射强度的变化表现为灰度的差异。这类差异的成因包括晶体结构的差异、取向(倾斜)变化、或者由于高应变场梯度导致的消光差异等
在半导体的制程中,晶圆内部产生的边缘微裂纹可能会导致晶圆的损坏。虽然晶圆内一些单独存在且尺寸微小的缺陷不造成直接的晶圆性能问题,但是在某些制程中,比如快速退火(rta等)、化学机械加工(cmp)、晶圆装卸移动中等,边缘处存在内部损伤的晶圆发生灾难性的概率大幅增加,并导致生产设备的污染。也有研究表明,在一定条件的热处理时,晶圆边缘会产生滑移带,并向内延伸至晶圆的区域。这类缺陷也会造成后续光刻工艺位移、芯片性能下降、良率下降、---时导致晶圆等后果。欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~algan材料xrd检测
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(1)每一个物相的衍射强度,这倒不难,我们可以从衍射图上量出来。
(2)每一个物相的k值,这个k从何而来呢? 这里的k值是这样一个定义:用某种纯物质x与α al2o3按重量比1:1混合均匀,测量两者的衍射强度之比。
这里的“衍射强度”被定义为峰的高度(不是面积)。 这个比值称为x物相的k值。这个k值只与物相结构有关,因此可以被写入pdf卡片。现在的电子版pdf卡片上有这样一个数据:i/ic(rir)=yyy。因此,我们也称为rir值,其中i是卡片所列物相的强线的峰高,而ic是刚玉(α-al2o3,corundum)强线的峰高。
我们已经给出了这个方法的标准,algan材料xrd检测多少钱,就是这么定义的。 这样一来,贵州algan材料xrd检测,定量分析就变得如此简单!扫描一遍样品的衍射谱,从图上量出每个物相的衍射峰的峰高,algan材料xrd检测价格,再从pdf卡片上查出每个相的rir值,就可以轻松地计算出全部物相的含量来。 真的,事实上,就是这么简单。你自己就可以做。再也不必求别人!。 这就是所谓的“绝热法”。绝热的意思是不再需要标样,因为样品中每一个物相的k值都已经知道,不需要与样品外的打交道。
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然后再通过这个函数的强度来计算物相的含量。当然,这个思想不全是为了物相的定量计算,可能得到的数据多种多样。包括的晶胞参数、微观应变、晶粒尺寸等等,不一而足。使用这样的程序需要你掌握较好的晶体学知识(不是那种仅仅知道晶体是有序排列的知识水平),而且还要知道物相的晶体结构,以及对x射线衍射较深的掌握。
有一个程序,叫做maud,是一个什么的人写的,我懒得去看了,algan材料xrd检测分析,这个程序就能做。不过,这个人可能太忙或者太懒或者认为自己的程序还没有达到要写一个使用说明的程度,因此,他还没有写出一个帮助文件来。一切都靠自己去摸索,摸透了的就能用,也许花上几个月时间还没有摸出头绪来也是可能的。
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