半导体xrd物相分析-xrd掠入射(gixrd)检测实验室

xrd掠入射（gixrd）检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

假如我使用几种强度的表示方法来计算含量呢？

通过x射线衍射分析软件的“寻峰”功能。我们能得到衍射峰的峰高和峰面积，你不妨试试分别通过峰高和峰面积来计算物相的含量，然后再作个平均，也许会比单纯地使用峰高或峰面积来计算结果一些。你会做峰形拟合吗？

x射线衍射峰的线形总是一种“钟罩”形函数，或者说可以使用一种钟罩形函数来拟合。你可以选择不同的峰形函数来做峰的拟合，看看哪个的误差小，说明衍射峰能使用这种函数来拟合。拟合完成后，拟合函数的高度、宽度和面积就会列表出来。

这时，你又得到一组强度数据，分别用高度和面积计算物相含量，会得到怎样的结果呢？当然也可以加入到前面的两种结果中，作一个4个结果的平均。这只是我的建议，并非一定要这么做。当衍射峰没有重叠，没有宽化，xrd掠入射（gixrd）检测实验室，没有变形时，4种结果没有多少差别。只有当存在这些因素时，才会出现差别。如果峰形重叠，使用拟合能将重叠峰分离开来，以消除其它物相附加的强度，单纯的寻峰是不能做到这一点的。但是，拟合时要---注意背景线的取舍，拟合得不好可能会产生很大的误差。拟合峰数据用来计算一些粘土矿物的含量时，显得尤为有意义。因为这些物相的峰形往往不对称，矮而宽，底部拖得---宽，而且多有重叠。单纯的寻峰数据使物相含量的计算结果偏小。不过，用拟合数据计算出来的又往往偏高。两者中和一下，也许与真实的结果差不离了。