xrd倒易空间(rsm)检测机构-半导体xrd研究所

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    2023-4-10

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xrdi技术说明。

无缺陷的晶体产生的x射线衍射信号的强度是均匀一致分布的,而晶体的缺陷会导致晶体的形变以及衍射强度的变化。衍射强度的变化表现为灰度的差异。这类差异的成因包括晶体结构的差异、取向(倾斜)变化、或者由于高应变场梯度导致的消光差异等

在半导体的制程中,晶圆内部产生的边缘微裂纹可能会导致晶圆的损坏。虽然晶圆内一些单独存在且尺寸微小的缺陷不造成直接的晶圆性能问题,但是在某些制程中,xrd倒易空间(rsm)检测机构,比如快速退火(rta等)、化学机械加工(cmp)、晶圆装卸移动中等,海南xrd倒易空间(rsm)检测,边缘处存在内部损伤的晶圆发生灾难性的概率大幅增加,并导致生产设备的污染。也有研究表明,在一定条件的热处理时,晶圆边缘会产生滑移带,并向内延伸至晶圆的区域。这类缺陷也会造成后续光刻工艺位移、芯片性能下降、良率下降、---时导致晶圆等后果。


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其它的,多余的,唠叨的话:有一些定量分析方法是专门的。比如,石油部有一个部颁标准,是针对粘土矿物定量分析的。不过,做一个样品不很容易,需要做多个实验,一个测试周期可能要一周左右。北京大学的江超华老师那里可以做这个工作,xrd倒易空间(rsm)检测平台,且收费应当算是---。另一个是关于钢中残余奥氏体含量的测定。这个方法也比较成熟,不过,对于不同的钢有些差别。自己学学不是很难。国内会用maud的人---浙江大学分析测试中心的吕光烈老师。你如果对定量分析方法已经了解了个大概,你不妨去查一下文献,有n多的这方面的,多半是针对某些特定环境可以使用的一些方法。如果能拿来套用,则是你的幸运。

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xrd测试分析下面通过一些问答形式给讲解物相定量分析的重点知识。

1、为什么不能做物相定量?

样品往往不是单一物相,因此,人们总想了解其中某种相的含量。人们的理解总是认为哪怕只是一种近似的结果也比没有结果要好。

为了要说明定量分析的问题,我们还是了解一下一张x射线衍射谱图中包含一些什么信息。这些信息主要有三个方面。也是三个方面的应用:

(1)衍射峰的位置

这方面的信息主要用于物相的鉴定、晶胞参数的精修、残余应力的测量。

(2)衍射峰的峰高或者面积,我们称之为强度

这方面的信息主要用于物相的含量、结晶度以及织构的计算。

(3)衍射峰的形状,我们称为线形

这方面的信息又包括两个方面。其一是衍射峰的宽度,我们可以用来计算亚晶尺寸的大小(常被称为晶粒大小)和微观应变的计算。另一个则是线的形状,主要是指峰形是否对称,xrd倒易空间(rsm)检测哪里可以做,这方面用来计算位错、层错等。不过,后者做的人少,研究也不是很完全,因此应用不是很广泛。



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