半导体研究所-广西壮族自治半导体xrd检测

半导体xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

xrd小角度测试x 射线散射效益来自于物质内部1～100nm 量级范围内电子密度的起伏。对于完全均匀的物质，其散射强度为零。

当出现第二相或不均匀区时才会发生散射，且散射角度随着散射体尺寸的增大而减小。

xrd小角度测试x射线散射强度受粒子尺寸、形状、分散情况、取向及电子密度分布等的影响。

对于稀疏分散、随机取向、大小和形状一致，且每个粒子内部具有均匀电子密度的粒子组成体系， 对于不规则形状的粒子体系，其散射强度不同，表现为散射函数不同。

同样，具有一致取向的粒子构成的稀疏粒子体系与无取向的粒子体系的散射强度也不同。

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