xrd薄膜检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
广角xrd和小角xrd的区别
xrd是x射线衍射仪的简称。其基本原理是:当x射线照射所测物质(晶体),相应晶面会产生衍射强度。随着发射x射线的转轴移动,不同角度的不同晶面会被完全扫描出来。从而根据布拉格方程2d sinθ=nλ,呈现出图谱。广角xrd一般指3°~80°,甚至是更高的度数,一般用来判断某种材料的物相,即是什么物质。而小角xrd一般是指0°~3°的测试范围,在该范围内对应的晶面一般是层间,即(00x)晶面,一般用来比较改性物质前后该晶面的层间距变化。
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残余应力是类内应力的工程名称。残余应力在工件中的分布一般是不均匀的,而且,残余应力会对工件的静强度、疲劳强度、形状尺寸稳定性和耐蚀性等会产生---的影响。因此,残余应力的测定非常重要。
残余应力测定方法可分为有损检测法和无损检测法。有损检测法是通过机械加工的方式将被测工件的一部分去除,局部残余应力得到释放从而产生相应的应变和位移,根据相关力学原理推算工件的残余应力。常用的有损检测方法有钻孔法与环芯法。无损检测法是利用残余应力会引起材料中某一物理量(如晶面间距、超声波在材料中的传播速率或磁导率)的变化,通过建立此物理量与残余应力之间的关系,xrd薄膜检测费用多少,测定相关物理量从而计算出残余应力。常用的无损检测方法有x射线衍射法、中子衍射法、磁性法与超声法,其中,x射线衍射法因其原理较为成熟、方法较为完善,是目前在---应用为广泛的方法,其测试设备也越来越完善,既有功能齐全的实验室仪器,也有适用于现场测量的便携式仪器,xrd薄膜检测多少钱,还有适于特殊场合的检测装置。
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残余应力的产生
●残余应力是材料中发生了不均匀的弹性变形或不均匀的弹塑性变形而引起的,或者说是材料的弹性各向---和塑性各向---的反映
●单晶体材料是一个各向---体
●多相多晶体材料在宏观上表现出“伪各向同性”
●在微区,由于晶界的存在和晶粒的不同取向,弹塑性变形总是不均匀的
●冷热变形时沿截面弹塑性变形不均匀
●工件加热、冷却时不同区域的温度分布不均匀,导致热胀冷缩不均匀
●热处理时不均匀的温度分布引起相变过程的不同时性
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