algan材料xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
布拉格定律
当一束具有一定波长λ的x射线照射到多晶体上时,会在一定的衍射角2θ上接收到反射的x射线强度---值(即衍射峰),这便是x射线衍射现象,如图1所示。x射线波长λ、衍射晶面间距d和布拉格角θ之间满足公式(1)。在x射线衍射残余应力分析中,选用合适靶材的x射线管,即选定合适的波长λ,algan材料xrd检测哪里可以做,通过衍射装置测定衍射角2θ,algan材料xrd检测服务,就可以计算出相应晶面的晶面间距d。
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xrd衍射谱图上的衍射峰对应的晶面该怎么看
xrd 衍射峰一般用角度值表示,该值和微观上晶体的晶面间距是对应的,一个晶面间距对应一个特定的角度。当测试多晶,香港---行政algan材料xrd检测,陶瓷时,因为存在晶格异常,偏大或偏小,会使衍射峰变宽。材料结晶越好,峰越窄,反之越宽。
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xrd进行定性分析时可以得到哪些有用信息?
x射线反射率(xrr:x-ray reflectivity)是一种表面表征技术,是利用x射线在不同物质表面或界面的反射线之间的干涉现象分析薄膜或多层膜结构的工具。通过分析xrr图谱可以确定各层薄膜的密度、膜厚、粗糙度等结构参数。
xrr的特点:
1无损检测
2对样品的结晶状态没有要求,不论是单晶膜、多晶膜还是非晶膜均可以进行测试
3 xrr适用于纳米薄膜,要求厚度小于500nm
4 晶面膜,表面粗糙度一般不超过5nm
5 多层膜之间要求有密度差
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