xrd小角度检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
阴极荧光谱是利用电子束激发半导体样品，xrd小角度检测价格，将价带电子激发到导带，之后由于导带能量高不稳定，宁夏回族自治xrd小角度检测，被激发电子又重新跳回价带，并释放出能量e≤eg（能隙）的特征荧光谱。cl谱是一种无损的分析方法，结合扫描电镜可提供与形貌相关的高空间分辨率光谱结果，是纳米结构和体材料的分析工具。利用阴极荧光谱，可以在进行表面形貌分析的同时，研究半导体材料的发光特性，尤其适合于各种半导体肼、线、点等纳米结构的发光性能的研究。
例如，对于氮化镓单晶，由于阴极萤光显微镜具有高的空间分辨率并且具有无损检测的优点，因此将其应用于位错密度的检测已经是行业内广泛采用的方法。目前也制定了相应的标准。
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不同x射线残余应力测定方法的原理与应用
(1) sin2ψ法可以采用选取较大的ψ范围和较多的ψ站数进行残余应力测定，从而提高测试精度。cosα法采用单次---，ψ范围不够---造成较大的测量误差，具有局限性，有待于进一步完善。
(2)在基于sin2ψ法原理的测量方法中，与同倾法相比，侧倾法具有明显的---性。在被测点所处空间条件允许的前提下，应尽量采用侧倾法。对于某些零件的沟槽部位的残余应力测定，通常采用同倾法。
(3) 在残余应力的计算方法中，xrd小角度检测分析，可真应变法。
(4) sin2ψ法作为一种标准的方法，ψ角的设置好采用sin2ψ值等分法，尽量多选择几个ψ角进行测量。
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什么是残余应力?
●内应力：没有外力或外力矩作用而在物体内部存在并自身保持平衡的应力
●国技文献习惯将类内应力称为残余应力
●一般英、美文献中把类内应力称为“宏观应力”(macrostress)
●把第二类和第三类内应力合称为“微观应力”(microstress)
●残余应力可以认为是类内应力的工程名称
●通常所说的“热处理应力”，“焊接应力”，“铸造应力”等则是实施这些工艺的过程中产生并终残留的残余应力（即类内应力）的简称
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