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布拉格定律
当一束具有一定波长λ的x射线照射到多晶体上时，会在一定的衍射角2θ上接收到反射的x射线强度---值(即衍射峰)，这便是x射线衍射现象，如图1所示。x射线波长λ、衍射晶面间距d和布拉格角θ之间满足公式(1)。在x射线衍射残余应力分析中，选用合适靶材的x射线管，即选定合适的波长λ，通过衍射装置测定衍射角2θ，就可以计算出相应晶面的晶面间距d。
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●应力常数
?晶体中普遍存在各向---，不同晶向具有不同弹性模量，如果利用平均弹性模量来求解x射线应力常数，势必会产生一定误差。
?对已知材料进行应力测定时，可通过查表获取待测晶面的应力常数。
?对于未知材料，只能通过实验方法测定其应力常数。
3) 数据处理
●采集到---的原始衍射数据后，还必须经过一定的数据处理及计算，终才能获得---的应力数值。
数据处理包括:
?衍射峰形处理
?确定衍射峰位
?应力计算及误差分析
目前计算机已十分普及，许多复杂数学计算都变得容易，给数据处理工作带来方便。
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阴极荧光谱是利用电子束激发半导体样品，将价带电子激发到导带，之后由于导带能量高不稳定，被激发电子又重新跳回价带，并释放出能量e≤eg（能隙）的特征荧光谱。cl谱是一种无损的分析方法，结合扫描电镜可提供与形貌相关的高空间分辨率光谱结果，是纳米结构和体材料的分析工具。利用阴极荧光谱，可以在进行表面形貌分析的同时，研究半导体材料的发光特性，尤其适合于各种半导体肼、线、点等纳米结构的发光性能的研究。
例如，对于氮化镓单晶，由于阴极萤光显微镜具有高的空间分辨率并且具有无损检测的优点，因此将其应用于位错密度的检测已经是行业内广泛采用的方法。目前也制定了相应的标准。
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