上海单晶xrd检测-半导体xrd薄膜测试

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二次粒子质谱是借助入射粒子的轰击功能，将样品表面原子溅出，由质谱仪测定二次粒子，单晶xrd检测，根据质谱峰位的数，可以确定二次离子所属的元素和化合物，从而可测定表面元素的组成。这是一种常用的表面分析技术。其特点是高灵敏度和高分辨率。

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