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xrd薄膜检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

二次粒子质谱是借助入射粒子的轰击功能，将样品表面原子溅出，由质谱仪测定二次粒子，根据质谱峰位的数，山西xrd薄膜检测，可以确定二次离子所属的元素和化合物，从而可测定表面元素的组成。这是一种常用的表面分析技术。其特点是高灵敏度和高分辨率。

利用二次离子质谱对掺杂元素的---灵敏度的特点，对样品的注入条件进行分析，在生产中可以进行离子注入机台的校验，并确定新机台的可以投入生产。同时，二次离子质谱对于cvd沉积工艺的监控尤其是硼磷元素的分布和生长比率等方面有的作用。通过二次离子质谱结果的分析帮助cvd---进行生长条件的调节，确定沉积工艺条件。对于杂质污染的分析，可以对样品表面结构和杂质掺杂情况进行详细了解，xrd薄膜检测平台，---芯片的有源区的洁净生长，对器件的电性及---性起到---的作用。对掺杂元素退火后的形貌分析研究发现通过改变掺杂元素的---分布，来---器件的电学性能达到设计要求。可以帮助ltd进行新工艺的研究对于90nm/65nm/45nm新产品开发起到很大作用。

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为了掌握x射线衍射残余应力测定技术，有---其方法进行归纳。

x射线衍射残余应力测定方法分类

(1) x射线衍射残余应力测定方法可分为sin2ψ法、cosα法。

(2) sin2ψ法按照残余应力计算方法分类，可分为2θ法、d值法、应变法。

(3) sin2ψ法按ψ与2θ的几何关系分类，可分为同倾法、侧倾法。

(4) 按x射线管、计数管扫描方式可分为固定ψ0法，固定ψ法。

(5) 侧倾法又可分为标准的侧倾法、修改的侧倾法、侧倾固定ψ法。

(6) 测定剪切应力τφ采用的正负ψ测定法。

(7) x射线衍射法一般是测方向的应力，也有点的主应力测定法。

(8) 摆动法可分为ψ0摆动法、ψ摆法、德拜环摆动法、φ角摆动法和x/y往复平移法等。

(9) 从衍射几何分类，有---法、准---法和平行光束法。