xrd薄膜检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
残余应力是类内应力的工程名称。残余应力在工件中的分布一般是不均匀的,而且,xrd薄膜检测多少钱,残余应力会对工件的静强度、疲劳强度、形状尺寸稳定性和耐蚀性等会产生---的影响。因此,xrd薄膜检测报告,残余应力的测定非常重要。
残余应力测定方法可分为有损检测法和无损检测法。有损检测法是通过机械加工的方式将被测工件的一部分去除,局部残余应力得到释放从而产生相应的应变和位移,根据相关力学原理推算工件的残余应力。常用的有损检测方法有钻孔法与环芯法。无损检测法是利用残余应力会引起材料中某一物理量(如晶面间距、超声波在材料中的传播速率或磁导率)的变化,通过建立此物理量与残余应力之间的关系,测定相关物理量从而计算出残余应力。常用的无损检测方法有x射线衍射法、中子衍射法、磁性法与超声法,其中,x射线衍射法因其原理较为成熟、方法较为完善,是目前在---应用为广泛的方法,其测试设备也越来越完善,既有功能齐全的实验室仪器,也有适用于现场测量的便携式仪器,xrd薄膜检测机构,还有适于特殊场合的检测装置。
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为了掌握x射线衍射残余应力测定技术,有---其方法进行归纳。
x射线衍射残余应力测定方法分类
(1) x射线衍射残余应力测定方法可分为sin2ψ法、cosα法。
(2) sin2ψ法按照残余应力计算方法分类,可分为2θ法、d值法、应变法。
(3) sin2ψ法按ψ与2θ的几何关系分类,可分为同倾法、侧倾法。
(4) 按x射线管、计数管扫描方式可分为固定ψ0法,固定ψ法。
(5) 侧倾法又可分为标准的侧倾法、修改的侧倾法、侧倾固定ψ法。
(6) 测定剪切应力τφ采用的正负ψ测定法。
(7) x射线衍射法一般是测方向的应力,也有点的主应力测定法。
(8) 摆动法可分为ψ0摆动法、ψ摆法、德拜环摆动法、φ角摆动法和x/y往复平移法等。
(9) 从衍射几何分类,河北xrd薄膜检测,有---法、准---法和平行光束法。
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x射线小角散射(small angle x-ray scattering,saxs)是通过收集x射线穿过样品之后产生的散射信号,来研究样品1~100 nm范围之内结构信息的技术。saxs对样品的形式没有特定要求,块状,粉末和液体均可,但要求感兴趣的结构与周围环境有电子密度起伏,即衬度。
由于纳米颗粒形貌和尺寸会对其物化性能均会产生影响,为了实现更的纳米颗粒形貌和尺寸的分析,以便---地利用纳米颗粒,采用更具有统计意义的saxs技术是个非常---的选择。首先利用tem对纳米颗粒形貌及尺寸进行初步分析,然后采集不同的纳米颗粒分散液的saxs数据,利用不同的形状因子(即,cube,sphere, 和superball)对数据进行分析得到了不同的p值。当p=1时,纳米颗粒为球形,当,纳米颗粒则为立方体。
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