大功率xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
残余应力的产生
●残余应力是材料中发生了不均匀的弹性变形或不均匀的弹塑性变形而引起的,或者说是材料的弹性各向---和塑性各向---的反映
●单晶体材料是一个各向---体
●多相多晶体材料在宏观上表现出“伪各向同性”
●在微区,由于晶界的存在和晶粒的不同取向,弹塑性变形总是不均匀的
●冷热变形时沿截面弹塑性变形不均匀
●工件加热、冷却时不同区域的温度分布不均匀,导致热胀冷缩不均匀
●热处理时不均匀的温度分布引起相变过程的不同时性
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半导体产业作为现代信息技术产业的基础,已成为社会发展和---的基础性、---和先导性产业,是现代日常生活和未来科技进步的重要组成部分。当前,半导体科技和产业的竞争愈演愈烈,各国围绕提升半导体领域竞争力,大功率xrd检测平台,相继---了一系列政策举措。
半导体行业归根结底属于设备类行业,行业内素有“一代设备,一代工艺,一代产品”的说法。semi在semicon japan 2022上发布了<2022年度总半导体设备预测报告>。报告---,原设备制造商的半导体制造设备总销售额预计将在2022年创下1085亿美元的新高,连续三年创纪录,较2021创下的1025亿美元行业纪录增长5.9%。
基于此,仪器---联合电子工业出版社于四、五月将启动“半导体主题月”活动。活动同期,仪器---与电子工业出版社特组织召开第二届“半导体工艺与检测技术”主题网络研讨会。会议旨在邀请领域内围绕半导体产业常用的工艺与检测技术,从各种半导体制造工艺及其检测技术等方面带来精彩报告,依托成熟的网络会议平台,为半导体产业从事研发、教学、生产的工作人员提供一个突破时间地域---的免费学习、交流平台,让大家足不出户便能聆听到精彩的报告。=
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1、简介
x射线测试技术广泛用于各种薄膜材料的表征。薄膜材料不同于普通的粉末xrd表征,大功率xrd检测机构,存在一定的---和薄膜的特性。例如,大功率xrd检测服务,当薄膜具有---的择优取向时,只有特定晶面的衍射能被观察到,这也是为什么薄膜的测试表征比普通粉末表征难的原因。本文将综述x射线衍射技术用于薄膜的测试。
2、为什么薄膜材料要使用x射线来表征?
2.1、x射线分析的特点
随着---薄膜材料制备技术的发展,用于表征薄膜材料的分析技术的水平和内容变得复杂和多样化。这其中x射线用于表征薄膜的技术有很大的发展。
利用x射线来表征材料有很长的历史。在对材料的晶体结构进行测试方面,x射线衍射技术是非常成功的。和电子束衍射相比,x射线衍射方法有以下特点:
l 非破坏性的,并且无需---的制样方法。
l 能够在特殊环境和常规环境下进行测试,例如高温高压下测试。
l 能够获得材料的平均结构信息,测试范围较广从nm级到cm级都可以表征。
l 对有机材料的破坏性也较低。
l 通过控制x射线的角度能够改变分析的材料的---。
l 可以表征埋层材料的界面结构。
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