xrd倒易空间（rsm）检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，xrd倒易空间（rsm）检测机构，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
x射线衍射残余应力测定的sin2ψ法应力是通过应变来进行测定的，对于多晶体材料而言，xrd倒易空间（rsm）检测分析，残余应力所对应的应变被认为是相应区域里晶格应变的统计结果，因此依据x射线衍射原理测定晶格应变，即可计算残余应力。
x射线衍射残余应力测定的sin2ψ法
材料的残余应力与宏观应变相对应，宏观应变被认为等同于晶格应变，晶格应变即晶面间距的相对变化，而晶面间距的变化可以通过衍射装置依据布拉格定律求出，这便是x射线衍射残余应力测定法的完整思路。
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xrd即x-raydiffraction的缩写，x射线衍射，通过对材料进行x射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。x射 线是一种波长很短(约为20～0.06埃)的电磁波，能穿透一定厚度的物质，并能使荧光物质发光、照相乳胶感光、*体电离。在用电子束轰击金属“靶”产生的x射线中，包含与靶 中各种元素对应的具有特定波长的x射线，称为特征（或标识）x射线。
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侧倾法
侧倾法的衍射几何特点是平面与测角仪2θ扫描平面垂直。由于2θ扫描平面不再占据ψ角转动空间，二者互不影响，ψ角设置受任何---。优点:
·扫描平面与ψ角转动平面垂直，xrd倒易空间（rsm）检测，在各个ψ角衍射线经过的试样路程近乎相等，因此不必考虑吸收因子的影响；
·由于ψ角与2θ扫描角互不---，因而增大这两个角度的应用范围;
·衍射几何对称性好，有效减小散焦的影响，---衍射谱线的对称性。
缺点:
ψ角与2θ角占据互相垂直的两个平面，需要足够的空间。对角焊缝、齿根等的应力测试比较困难。
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