半导体xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，半导体xrd检测分析，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
xrd衍射谱图上的衍射峰对应的晶面该怎么看
xrd 衍射峰一般用角度值表示，半导体xrd检测哪里可以做，该值和微观上晶体的晶面间距是对应的，一个晶面间距对应一个特定的角度。当测试多晶，陶瓷时，因为存在晶格异常，偏大或偏小，会使衍射峰变宽。材料结晶越好，峰越窄，反之越宽。
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同倾固定ψ0法
每次探测扫描接收反射x射线的过程中，入射角ψ0保持不变选择一系列不同的入射线与试样表面法线之夹角ψ0来进行应力测试工作。
ψ与ψ0之间关系为：
ψ=ψ0+η
η=90°﹣θ
同倾固定ψ0法的ψ0角设置要受到下列---：
ψ0+2η< 90°
*** ψ0<2θ-90°
2η< 90°***2θ>; 90°
同倾固定法
在每次扫描过程中衍射面法线固定在特定ψ角方向上，即保持ψ不变
测试时x=管与探测器等速相向(或相反)而行，每个接收反射x=时刻，相当于固定晶面法线的入射角与反射角相等。通过选择一系列衍射晶面法线与试样表面法线之间夹角ψ，来进行应力测试工作。同倾固定ψ法的ψ角设置要受到下列条件---
ψ+η< 90°***ψ<0
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广角xrd和小角xrd的区别
xrd是x射线衍射仪的简称。其基本原理是:当x射线照射所测物质（晶体），相应晶面会产生衍射强度。随着发射x射线的转轴移动，不同角度的不同晶面会被完全扫描出来。从而根据布拉格方程2d sinθ=nλ，呈现出图谱。广角xrd一般指3°~80°，甚至是更高的度数，一般用来判断某种材料的物相，即是什么物质。而小角xrd一般是指0°~3°的测试范围，江苏半导体xrd检测，在该范围内对应的晶面一般是层间，即（00x）晶面，一般用来比较改性物质前后该晶面的层间距变化。
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