内蒙古自治xrd掠入射(gixrd)检测-半导体xrd测试机构

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    2023-7-11

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xrd掠入射(gixrd)检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,xrd掠入射(gixrd)检测机构,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

相干散射

物质对x射线散射的实质是物质中的电子与光子的相互作用。当入射光子碰撞电子后,若电子能牢固地保持在原来位置上(原子对电子的束缚力很强),则光子将产生刚性碰撞,其作用效果是辐射出电磁波——散射波。这种散射波的波长和频率与入射波完全相同,新的散射波之间将可以发生相互干涉——相干散射。x射线的衍射现象正是基于相干散射之上的。

 x射线管

衍射用的x射线管实际上都属于热电子二极管,有密封式和转靶式两种。前者大功率不超过2.5kw,视靶材料的不同而异;后者是为获得高强度的x射线而设计的,一般功率在10kw以上。


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用origin计算残余应力

?分别测量φ=0,15,25,35,45°的衍射谱;

?用jade5打开各个衍射谱,做拟合,得到峰位(也可以将衍射图数据转换成txt文本文件,再用origin绘制图谱做拟合,求峰位);

?用excel建立sin2 ψ-2θ表;●用origin作sin2 ψ-2θ图并作直线拟合,得到斜率m;●查找材料的弹性模量和泊松比,计算弹性常数k;

●按σ=km计算应力。

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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

转靶式管

这种管采用一种特殊的运动结构以---增强靶面的冷却,即所谓旋转阳极x射线管,是目前实用的高强度x射线发生装置。管子的阳极设计成圆柱体形,柱面作为靶面,阳极需要用水冷却。工作时阳极圆柱以高速旋转,这样靶面受电子束轰击的部位不再是一个点或一条线段而是被延展成阳极柱体上的一段柱面,内蒙古自治xrd掠入射(gixrd)检测,使受热面积展开,从而有效地加强了热量的散发。所以,xrd掠入射(gixrd)检测分析,这种管的功率能远---过前两种管子。对于铜或钼靶管,密封式管的额定功率,目前只能达到2 kw左右,而转靶式管可达90 kw。


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