xrd薄膜检测平台-半导体xrd薄膜测试

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jade将衍射峰宽度大于3°的峰为非晶峰。通过衍射图谱的拟合，可以直接得到样品的结晶度。

在计算结晶度时，同一系列的样品，应当选择相同的衍射角范围。

正确地分离晶相峰和非晶峰往往比较困难，比较容易实现的方法是只用jade的“手动拟合”命令，而不使用自动拟合命令。拟合过程中，拟合的好坏并不能真实地从“r值”上表现出来，而应当仔细观察“误差放大线”的水平程度和光滑程度，越平越越光滑表明拟合得越好。不断地在不平直和不光滑的位置加入新的峰并进行拟合，终将得到一条拟合佳的曲线。

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xrd分析与xrf分析的异同

1，用途不同。xrd是x射线衍射光谱，（x－ray diffraction ---ysis)是用于测定晶体的结构的，而xrf是x射线荧光发射谱，xrd薄膜检测价格，（x－ray fluorescence ---ysis)主要用于元素的定性、定量分析的，一般测定原子序数小于na的元素，定量测定的浓度范围是常量、微量、痕量。

2，原理上的差别：xrd是以x射线的相干散射为基础，以布拉格公式2d sinθ=nλ、晶体理论、倒易点阵厄瓦尔德图解为主要原理的；

xrf则是以莫斯莱定律(1/λ)1/2=k(z-s)，k，s是与线性有关的常数。因此，得出不同元素具有不同的x射线（即特征线）为基础对元素定性、定量分析的。

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