大功率xrd检测-半导体xrd物相分析

大功率xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

常见问题

q1、粉末样品量过少会有什么样的影响？

答：因为粉末样品要铺满整个样品台，样品量过少可能导致x射线打在样品台上，从而影响数据。

q2、为什么部分样品的测试结果中衍射峰强度较低，甚至没有明显的衍射峰？

答：样品的衍射峰强度主要跟自身结晶度有关，结晶度越好，衍射峰越明显，其次才是样品量和仪器功率。

q3、步长和扫描速度有何关联？扫描速度对样品的测量有何影响？

答：步长决定了扫描的精细程度，扫描速度是由步长和每步的时间决定的，每步的时间长短会影响衍射峰的强度和信噪比。每步的时间越长，步长越小，则谱越精细，信噪比越高，可用于定量计算，如xrd精修等。

q4、xrd定量的度如何？

答：xrd为半定量分析，定量测试结果度有限，仅供参考。

q5、为何有些样品的测试结果基线较高？能否---？

答：有荧光散射现象的样品，如铁含量较高的样品，测试结果会出现基线较高的情况，这是无法---的。

q6、cu靶的波长是多少？

答：kα1=1.540538埃。

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大功率xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，大功率xrd检测，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

xrd常用于测试金属、非金属、无机材料和有一定结晶的高分子材料的物相分析。

工作原理

xrd是一种利用x射线在晶体材料中的衍射效应来分析材料结构的技术。每种晶体材料都有其特定的结构参数，包括晶格类型、晶面间距和其他参数。不同的结构参数导致不同的x射线衍射图案。因此，可以通过测量衍射图案中的衍射角位置（峰值位置）来进行化合物的定性分析，并且可以通过测量谱线的积分强度（峰值强度）来进行定量分析。

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