xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释
微区衍射仪
微区衍射仪是按平行光束型衍射几何设计的,xrd残余应力检测报告,使用特殊的大窗口闪烁检测器或环形窗口的正比检测器。工作时,检测器沿入射线方向移动,通过固定直径的环形狭缝对各衍射锥面的总强度依次地进行测量。由于它使用细平行光束,故能对样品的一个微区(直径可小至30μm)进行衍射分析。
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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释
转靶式管
这种管采用一种特殊的运动结构以---增强靶面的冷却,即所谓旋转阳极x射线管,是目前实用的高强度x射线发生装置。管子的阳极设计成圆柱体形,柱面作为靶面,阳极需要用水冷却。工作时阳极圆柱以高速旋转,这样靶面受电子束轰击的部位不再是一个点或一条线段而是被延展成阳极柱体上的一段柱面,使受热面积展开,从而有效地加强了热量的散发。所以,这种管的功率能远---过前两种管子。对于铜或钼靶管,密封式管的额定功率,目前只能达到2 kw左右,而转靶式管可达90 kw。
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