半导体薄膜测试机构-福建xrd摇摆曲线检测

xrd摇摆曲线检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

sollar狭缝测角仪上一组平行薄金属片光阑，由一组平行等间距的、平面与射线源焦线垂直的金属薄片组成，用来---x射线在测角仪轴向方向的发散，使x射线束可以近似的看作仅在扫描圆平面上发散的发散束。

脉冲计数率在衍射仪方法中，x射线的强度用脉冲计数率表示，单位为每秒脉冲数（cps）。检测器在单位时间输出的平均脉冲数，直接决定于检测器在单位时间接收的光子数。如果检测器的效率为100%，而系统（放大器和脉冲幅度分析器等）又没有计数损失（漏计），那么每秒脉冲数便是每秒光子数。

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首先，我们必须强调的是xrd做含量分析非常不准，如果非要说检出限是多少主要是由什么决定的，那就是由仪器的功率和管电流决定的，xrd摇摆曲线检测机构，如果要表征元素的含量---化学方法测或者原子吸收来做。

另外，xrd的检测限是不能简单的用％来表示的，这和被检测物质的分散度有很大关系，也就是结晶度，与物质种类也有很大关系，样品的吸收系数大，检出限会高很多。如果非要确定出一个检出限，一般说是5%左右。但是，不同的物相，对x射线的吸收不同，则检出限会有较大出入。如单质硅，一般在1%左右可以检出，而另一些相，可能10%都难于检出。当然。在样品相同的情况下，使用较高的衍射功率，xrd摇摆曲线检测多少钱，使用较长的扫描时间效果会---。不过，如果要延长扫描时间，如果延长一两倍是见不到效果的。

经验表明，如果使用常规的扫描速度能看到某种存在的迹象，那么，再采用1度/min或更慢的速度来扫描。如果使用常规扫描速度---都看不到痕迹，就没有---再费力了。进行半定量分析确实是很不准确，而且结果确实与晶粒大小相关。晶粒小的析出相，福建xrd摇摆曲线检测，连检出都困难，更别说做定量分析了。晶粒小的物相会使其rir值增大，曾做过ceo2的rir值，在不同的温度下的产物，其rir值相差10倍。

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