xrd薄膜检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
x射线衍射仪(xrd)相关术语解释
定速连续扫描粉末衍射仪的一种工作方式(扫描方式),常用。试样和接收狭缝以角速度比1:2的关系匀速转动。在转动过程中,检测器连续地测量x射线的散射强度,xrd薄膜检测实验室,各晶面的衍射线依次被接收。计算机控制的衍射仪多数采用步进电机来驱动测角仪转动,因此实际上转动并不是严格连续的,而是一步一步地(每步0.0025°)跳跃式转动,在转动速度较慢时尤为明显。但是检测器及测量系统是连续工作的。连续扫描的优点是工作效率较高。例如以2θ每分钟转动4°的速度扫描,扫描范围从20~80°的衍射图15分钟即可完成,而且也有---的分辨率、灵敏度和度,因而对大量的日常工作(一般是物相鉴定工作)是非常合适的。但在使用长图记录仪记录时,xrd薄膜检测价格,记录图会受到计数率表rc的影响,须适当地选择时间常数。
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jade通常并没有包含物相定量分析的模块。但是,可以通过jade计算出物相的衍射强度,进而进行物相分数的计算。但是,贵州xrd薄膜检测,在计算过程中,有几个问题值得注意
衍射强度的表示问题
物相的衍射强度既可以用衍射峰的高度也可以用衍射峰的面积来表示。通过jade可以得到4种物相衍射强度的数据:寻峰峰高、寻峰面积;拟合峰高、拟合面积。而峰高和峰面积的关系是:面积=峰高*fwhm。
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样品成分的限定
样品元素限定是缩小检索范围的有效手段。因此,我们在进行x射线衍射物相分析之前应当先做样品的元素分析,只有这样,才能准确并且正确地检索出样品中的全部物相。
成分限定的要点是:
(1) 只选样品中的主要元素。
(2) 选择4个元素。当样品成分比较复杂,含有元素种类较多时,优先选择量多的元素,xrd薄膜检测多少钱,并且每次只选择不多于4个元素,否则,检索范围过大,会影响检索结果。
(3) 尝试非金属元素c,h,o。有时,样品会发生吸潮、氧化、腐蚀,在按已知元素检索不出物相时,要考虑样品是否发生这种反应。
(4) 尝试不同的元素组合。由于衍射谱受固溶、择尤取向等影响,导致衍射峰位偏离正常位置或者峰强不匹配,在很多情况下,会有一些物相检索不出来,应当试探特定元素组合的存在。
当样品中元素种类太多时,检索结果可能不准确。因此,应当反复检索几次,并对比几次的检索结果,然后才作出终的结论。
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