半导体xrd检测测试-半导体研究所

半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

定速连续扫描粉末衍射仪的一种工作方式（扫描方式），常用。试样和接收狭缝以角速度比1:2的关系匀速转动。在转动过程中，半导体xrd检测价格，检测器连续地测量x射线的散射强度，各晶面的衍射线依次被接收。计算机控制的衍射仪多数采用步进电机来驱动测角仪转动，因此实际上转动并不是严格连续的，而是一步一步地（每步0.0025°）跳跃式转动，在转动速度较慢时尤为明显。但是检测器及测量系统是连续工作的。连续扫描的优点是工作效率较高。例如以2θ每分钟转动4°的速度扫描，扫描范围从20～80°的衍射图15分钟即可完成，而且也有---的分辨率、灵敏度和度，因而对大量的日常工作（一般是物相鉴定工作）是非常合适的。但在使用长图记录仪记录时，记录图会受到计数率表rc的影响，须适当地选择时间常数。

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由于百分之一i百的晶态的试样比较难制备，所以通常使用差异分析法。假定结晶相百分数正比于衍射峰积分强度之和，非晶相百分数正比于非晶散射峰积分强度。

即xc=pic;xa=qia

则:xc=ic(ic+kia)x100%

注意：ic为晶体部分的衍射积分强度，ia为非晶部分的衍射积分强度。k=q/p，是晶体部分和非晶部分之间的单位物质的相对散射因子

由上式已知，若温度k也已知，则即可求出样品的结晶点。但相对干同一个试模而言，k是常量。人们可利用测定二个不同结晶度的同一试模来计算出k值，从而得出试样的结晶度。

相对结晶度

如果将k值取1则xc=ic/(ic+ia)，即为相对结晶度。

这个统计方法虽然不准确，但对试样也存在择优取向，且同晶相合非晶相的化学成分也相同，半导体xrd检测测试，可认为，该法有比较意义。其实，得到结晶性相当麻烦，所以相对结晶度反而是比较常用的办法。

分析晶体衍射基础的公式是布拉格定律：2d sinθ=nλ

注意:λ为x guang线的长度，n则为的正整数，即衍射级数

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