xrd物相分析检测测试-半导体单晶xrd---

xrd物相分析检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

xrd常用于测试金属、非金属、无机材料和有一定结晶的高分子材料的物相分析。在样品测试形态上，一般为干燥的粉末，块体或者薄膜结构。

技术特点

常规测试中，xrd更多地被用于对材料进行物相定性分析，而对于物相结构的定量分析而言，xrd一般只能检测样品含量在1%以上的物相，准确度一般为1%的数量级。

需要注意的是，xrd不能通过直接测量衍射峰的面积来求物相的含量。因为对于xrd图谱而言，其测定的衍射强度是经过试样吸收之后表现出来的，这意味着衍射强度还与吸收系数有关，而吸收系数又依赖于物相浓度。所以要测某个物相的含量，xrd物相分析检测测试，首先必须明确衍射强度、物相含量和吸收系数之间的关系。

常规定量分析方法有：外标法、内标法、k值法、直接对比法、绝热法等。目前，做物相定量分析可以利用reitveld结构精修的办法进行数学处理得出各物相的具体含量。一般不用xrd来分析体相元素含量，通常是用它来分析不同结构的含量。与其他技术相比，xrd可以用来区分具有相同元素但不同物相的物质，如锐钛矿tio2和金红石tio2。

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xrd全称x射线衍射(x-raydiffraction)，利用x射线在晶体中的衍射现象来获得衍射后x射线信号特征，经过处理得到衍射图谱。利用谱图信息不仅可以实现常规显微镜的确定物相，并拥有“眼”来看晶体内部是否存在缺陷（位错）和晶格缺陷等。微区衍射（也称为射线微区衍射、微区x射线衍射或 uxrd)分析使用非常窄的光束来进行区域内的高度局部化xrd测量。这可以使用能减少射出×射线的入射光束准直器来实现。使用单毛细管可以产生直径约为50 um 的入射x射线束。微区衍射技术通常用于具有不同组成、晶格应变或优选取向微晶的小样品或非均质样品。

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