xrd掠入射(gixrd)检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,xrd掠入射(gixrd)检测,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,xrd掠入射(gixrd)检测机构,以及行业应用技术开发。
有没有---的办法?
历史在前进,技术在进步。60年代就有人(riteveld)提出用“全谱拟合”的思想。所谓全谱拟合,就是用一个假想的函数来拟合实测的衍射谱。通过一步一步地迭代,使假想函数与实测线形的差别达到可能的小值。
这个过程中,首先要输入的是样品中每个物相的晶体结构,通常需要精细的晶体结构,包括原子位置等等。考虑的因素也很多,比如晶格畸变、微观应变、原子错位等等。一步一步地进行,总会得到一个终的值。
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如何由xrd 图谱确定所做的样品是准晶结构?xrd 图谱中非晶、准晶和晶体的结构怎么严格区分?
三者并无严格明晰的分界。
在衍射仪获得的 xrd 图谱上,如果样品是较好的晶态物质,图谱的特征是有若干或许多个一般是彼此独立的很窄的尖峰(其半高度处的2θ宽度在 0.1°~0.2°左右,这一宽度可以视为由实验条件决定的晶体衍射峰的小宽度)。如果这些峰明显地变宽,则可以判定 样品中的晶体的颗粒尺寸将小于 300nm,可以称之为微晶。晶体的 x 射线衍射理论中有一个scherrer公式:
可以根据谱线变宽的量估算晶粒在该衍射方向上的厚度。
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(用 x 射线衍射仪)做 x 射线衍射时,一些(仪器)参数对谱线有什么影响?
如何选择仪器参数主要取决于做 x 射线衍射的目的。比如:扫描速度,如果是一般鉴定就可以取快一些(4-8 度/分),如果是精修晶胞参数就要扫慢一些;狭缝条件,狭缝越小分辨率越高,但强度就会减小,不宜快扫,西藏自治xrd掠入射(gixrd)检测,这又要增---间。
还要根据的样品的衍射能力、结晶 度等因素来定。如果是步进扫描:测定晶胞参数可以取每个步进度 1-30 秒,如果做结构精 测 30 秒到数分钟不等(对于普通功率的衍射仪,40kv、40ma)。
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