锂电xrd检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,锂电xrd检测多少钱,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
x射线测量技术已经被逐步应用于半导体集成电路芯片的生产制程中。在半导体生产制程中,硅晶圆内部的不可视缺陷 (nvd, non-visual defect) 以及晶圆破片(wafer breakage)是器件生产中面临的---问题,导致良率降低、制造成本增加、生产机器诊断和维护成本增加等。晶圆内部出现的不可视微裂纹可能会导致晶圆的破片,位错和滑移带等类型的内部晶格缺陷会降低电子设备的性能和良率。
x射线衍射成像(xrdi, x-ray diffraction imaging)技术,亦称为x射线形貌相 (xrt, x-ray topography)技术,能够以非常高的应变敏感性对晶圆的表面以及晶圆内部的位错、滑移带、微裂纹等各种不可视缺陷(nvd)进行成像。在晶圆制造中,可以抽检晶圆,进行xrdi检测,山东锂电xrd检测,及时发现每道工段站点有无产生、诱发新的晶圆缺陷。xrdi技术依据缺陷形态和尺寸判断所产生的缺陷是否会在后续工段导致晶圆,以便有效---晶圆、良率降低等风险,及时发现各工段的生产设备导致缺陷产生的问题,减少生产机器的清洗与维护成本。
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“衍射强度”实际上的定义是积分强度。
从衍射图上看起来,就是衍射峰的面积。这里定义k值时,却用了衍射峰的高度。它们之间能通用吗? 也许是通用的。但有一个前提条件:所有物相、所有衍射峰的峰形完全相同!主要的是衍射峰的宽度要相同。否则就会存在误差! 因为,衍射峰的面积是高度乘以宽度。仔细的人会发现,简单的面积计算公式是: 面积=峰高乘以半高宽 所谓半高宽就是指衍射峰一半高度处的宽度(fwhm)。 有的人会发现,用这个方法,计算出来的结果误差较大。这就是原因之一。不同的物相,不同的衍射角,衍射峰的宽度是不相同的。当然,如果样品中的物相晶粒都差不多,那么含量计算结果也差不多。 这里说的是差不多,不是说准确。因此,有人称之为“半定量”结果。
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在布鲁克的自带软件中有一个软件叫做topas,能做这方面的工作,但是,真正会用的人可能不是很多。在帕纳科的 xpert highscore里也有一个模块,可以做这个工作。理学电机的仪器使用美国的软件jade。为什么jade里没有这样的模块呢?其实是有的。你看过它的菜单opti里有一个灰色的命令叫做“easy quantitative”(快速定量)的东西吗?有的人安装上jade后,一看这个东西是灰色的,总以为自己的软件来路不正,是不是少了什么。可以说,真的没少什么。因为本来就没有这个东西。我们在买jade 5时就期望这个东西在新版本中变成黑的。但是,买了jade 6以后,这个东西还是灰的。但是,也可以说真的是少了点东西。少了定量这一块。原因就是这一块需要单独购买。因为大家都不买,所有大家都没得用。我不知道为什么大家都不买。我想不是因为大家都象我一样穷,可能的原因是,软件公司先有了菜单,锂电xrd检测哪里可以做,后来想做这个程序,可能原先的想法相当于前面提到的半定量,帕纳科的软件里就有这个东西。但是,后来没有做了,因为技术进步了,形势改变了。现在干脆做成了一个很复杂的东西。这个东西也通过全谱拟合的方法来做定量分析。据说,这个东西的功能很---,但是,要钱买。我没钱,没有买,因此也不知道到底怎么样。据说国内有人买了。不知道用得如何。另外,通过一些非x射线衍射的软件也能做这些工作,很多前辈在期刊上发表过一些。大家可以参考。
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