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尽管spike退火没有明显的滑移带, 高分辨率的x射线衍射成像图形结果中显示晶圆的边缘也出现了像钻石光源一样形状的成核位置。如图3所示,这些位置大多数处于晶圆边缘。在某些情况下,有非常明显的局部应变,;而另外一些情况下,没有明显的应变区域,。这种成核于晶圆边缘并向内延伸的位错类型呈半环形,沿着倾斜的{111}滑移面,依着平行于(100)晶圆表面的四个<011>; 方向,向内部滑移。它们不均匀的分布在晶圆边缘。
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我们为什么能利用衍射谱来做物相的含量分析呢?
其原理就是基于物相的含量w与该物相的衍射强度成正比。
可以简单地写成w=ci。w是物相的分数,i是该物相的衍射强度。c是一个系数,xrd晶粒尺寸检测服务,但不是一个常系数。不过,在一定条件下它是一个常数。---的是,这个常数通常不能通过理论计算得出,而是需要通过实验来测量。每当实验条件改变(包括样品中的物相种类的改变、任一物相含量的改变、观察峰的改变、甚至于物相产地改变、所用辐射改变、晶粒尺寸改变……如此等等,不一而足)这个系数是变化的。
围绕如何想办法得到这个系数c,历代的---和小师推导出了十几种具体的测量方法。而这些方法又是在某种环境下能使用在另一种环境下不能使用的。每种方法的不同要求等于给实验方法本身加上了一把锁,使得人们不能真正好好地、简便地利用它。
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(用 x 射线衍射仪)做 x 射线衍射时,一些(仪器)参数对谱线有什么影响?
如何选择仪器参数主要取决于做 x 射线衍射的目的。比如:扫描速度,如果是一般鉴定就可以取快一些(4-8 度/分),如果是精修晶胞参数就要扫慢一些;狭缝条件,狭缝越小分辨率越高,但强度就会减小,不宜快扫,这又要增---间。
还要根据的样品的衍射能力、结晶 度等因素来定。如果是步进扫描:测定晶胞参数可以取每个步进度 1-30 秒,如果做结构精 测 30 秒到数分钟不等(对于普通功率的衍射仪,40kv、40ma)。
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