xrd晶粒尺寸检测测试-半导体xrd物相分析

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xrd晶粒尺寸检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射技术（xrd）在建筑材料检测中的应用

x射线衍射技术(x-ray diffraction，即xrd)，是对材料进行x射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。xrd采用单色x射线为衍射源，一般可穿透固体，从而验证其内部结构，因此xrd可以给出材料的体相结构信息。通过xrd技术，可实现对物质中的矿物相的定性和定量分析。

技术原理采用x射线对物质进行衍射分析，不同原子散射的x射线相互干涉，在某些特殊方向上产生强x射线衍射，衍射线在空间分布的方位和强度，与晶体结构密切相关，并会得到物质特有的衍射图谱。

应用领域由于xrd具有所需样品数量少、检测速度快、无污染、不损失检材及数据处理方便等特征，因此x射线衍射分析法作为材料结构和成分分析的一种现代科学方法，已在建筑材料、化学、生物等科学研究和行业生产中广泛应用。

采用xrd技术可进行物相的鉴定和定量分析，点阵常数测定，晶粒大小，微观应力，残余应力分析及薄膜分析，平行光路几何用于表面粗糙和不规则形状物体的相鉴定分析，小角x射线散射，直接分析纳米粒子的粒度，孔径分布计算，可进行纳米孔结构分析。