xrd小角度检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
xrd与eds有什么区别
sem,eds,xrd的区别,sem是扫描电镜,eds是扫描电镜上配搭的一个用于微区分析成分的配件——能谱仪,是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,河北xrd小角度检测,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。xrd是x射线衍射仪,是用于物相分析的检测设备。
sem用于观察标本的表面结构,其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样 品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度,显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象,反映了标本的表面结构。
eds的原理是各种元素具有自己的x射线特征波长,特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△e,xrd小角度检测实验室,能谱仪就是利用不同元素x射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
xrd是利用衍射原理,测定物质的晶体结构,织构及应力,的进行物相分析,定性分析,定量分析。
说简单点,sem是用来看微观形貌的,观察表面的形态、断口、微裂纹等等;eds则是检测元素及其分布,但是h元素不能检测;xrd观察的是组织结构,可以测各个相的比例、晶体结构等。
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x射线小角散射(small angle x-ray scattering,saxs)是通过收集x射线穿过样品之后产生的散射信号,xrd小角度检测哪里可以做,来研究样品1~100 nm范围之内结构信息的技术。saxs对样品的形式没有特定要求,块状,粉末和液体均可,但要求感兴趣的结构与周围环境有电子密度起伏,即衬度。
由于纳米颗粒形貌和尺寸会对其物化性能均会产生影响,为了实现更的纳米颗粒形貌和尺寸的分析,以便---地利用纳米颗粒,采用更具有统计意义的saxs技术是个非常---的选择。首先利用tem对纳米颗粒形貌及尺寸进行初步分析,然后采集不同的纳米颗粒分散液的saxs数据,利用不同的形状因子(即,cube,sphere, 和superball)对数据进行分析得到了不同的p值。当p=1时,纳米颗粒为球形,当,纳米颗粒则为立方体。
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样品处理
●对于钢材试样,x射线只能穿透微米至十几微米的---,测试结果实际是这个---范围的平均应力,试样表面状态对测试结果有直接的影响。要求试样表面光滑,没有污垢、油膜及厚氧化层等。
●由于机加工而在材料表面产生的附加应力层大可达100μm,因此需要对试样表面进行预处理。预处理的方法是利用电化学或化学腐蚀等手段,xrd小角度检测机构,去除表面存在附加应力层的材料。
●如果实验目的就是为了测试机加工、喷丸、表面处理等工艺之后的表面应力,则不需要上述预处理过程,必须小心保护待测试样的原始表面,不能进行任何磕碰、加工、电化学或化学腐蚀等影响表面应力的操作。
●为测定应力沿层深的分布,可用电解腐蚀的方法进行逐层剥离,然后进行应力测量。或者先用机械法快速剥层至一定---,再用电解腐蚀法去除机械附加应力层。
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