algan材料xrd检测多少钱-半导体研究所

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    2023-5-17

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同倾固定ψ0法

每次探测扫描接收反射x射线的过程中,入射角ψ0保持不变选择一系列不同的入射线与试样表面法线之夹角ψ0来进行应力测试工作。

ψ与ψ0之间关系为:

ψ=ψ0+η

η=90°﹣θ

同倾固定ψ0法的ψ0角设置要受到下列---:

ψ0+2η< 90°

*** ψ0<2θ-90°

2η< 90°***2θ>; 90°

同倾固定法

在每次扫描过程中衍射面法线固定在特定ψ角方向上,即保持ψ不变

测试时x=管与探测器等速相向(或相反)而行,每个接收反射x=时刻,相当于固定晶面法线的入射角与反射角相等。通过选择一系列衍射晶面法线与试样表面法线之间夹角ψ,来进行应力测试工作。同倾固定ψ法的ψ角设置要受到下列条件---

ψ+η< 90°***ψ<0




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xrd薄膜法能够测定薄膜什么性质



一般对于薄膜材料,xrd能够做:掠入射(gixrd):    分析晶态薄膜物相,残余应力反射率测量(xrr):    对膜要求较高,晶态非晶皆可.一般分析纳米级别薄膜的厚度,深入一点可通过拟合的方法来分析密度,algan材料xrd检测,表面界面的粗糙度掠入射小角散射(gisaxs):    分析薄膜的纳米结构.这个比较新.


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测量原理

●x射线应力测定—用x射线衍射技术来测定材料中的残余应力(或外载应力)

●优点:

属于物理方法,不改变原始的应力状态

理论严谨

方法成熟

●缺点:

测定的是表面应力

对材料的表层状态比较敏感

●x射线应力测定的基本思路:

- 一定应力状态引起材料的晶格应变和宏观应变是一致的

- 晶格应变可以通过x射线衍射技术测出;宏观应变可根据弹性力学求得

- 从x射线法测得的晶格应变可推知宏观应力



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