xrd小角度检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
残余应力的产生
●残余应力是材料中发生了不均匀的弹性变形或不均匀的弹塑性变形而引起的,或者说是材料的弹性各向---和塑性各向---的反映
●单晶体材料是一个各向---体
●多相多晶体材料在宏观上表现出“伪各向同性”
●在微区,由于晶界的存在和晶粒的不同取向,xrd小角度检测,弹塑性变形总是不均匀的
●冷热变形时沿截面弹塑性变形不均匀
●工件加热、冷却时不同区域的温度分布不均匀,天津xrd小角度检测,导致热胀冷缩不均匀
●热处理时不均匀的温度分布引起相变过程的不同时性
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1、简介
x射线测试技术广泛用于各种薄膜材料的表征。薄膜材料不同于普通的粉末xrd表征,存在一定的---和薄膜的特性。例如,当薄膜具有---的择优取向时,只有特定晶面的衍射能被观察到,这也是为什么薄膜的测试表征比普通粉末表征难的原因。本文将综述x射线衍射技术用于薄膜的测试。
2、为什么薄膜材料要使用x射线来表征?
2.1、x射线分析的特点
随着---薄膜材料制备技术的发展,用于表征薄膜材料的分析技术的水平和内容变得复杂和多样化。这其中x射线用于表征薄膜的技术有很大的发展。
利用x射线来表征材料有很长的历史。在对材料的晶体结构进行测试方面,x射线衍射技术是非常成功的。和电子束衍射相比,x射线衍射方法有以下特点:
l 非破坏性的,xrd小角度检测实验室,并且无需---的制样方法。
l 能够在特殊环境和常规环境下进行测试,例如高温高压下测试。
l 能够获得材料的平均结构信息,测试范围较广从nm级到cm级都可以表征。
l 对有机材料的破坏性也较低。
l 通过控制x射线的角度能够改变分析的材料的---。
l 可以表征埋层材料的界面结构。
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x射线衍射技术(xrd)在建筑材料检测中的应用
x射线衍射技术(x-ray diffraction,即xrd),是对材料进行x射线衍射,分析其衍射图谱,获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。xrd采用单色x射线为衍射源,一般可穿透固体,从而验证其内部结构,因此xrd可以给出材料的体相结构信息。通过xrd技术,可实现对物质中的矿物相的定性和定量分析。
技术原理采用x射线对物质进行衍射分析,不同原子散射的x射线相互干涉,在某些特殊方向上产生强x射线衍射,衍射线在空间分布的方位和强度,与晶体结构密切相关,并会得到物质特有的衍射图谱。
应用领域由于xrd具有所需样品数量少、检测速度快、无污染、不损失检材及数据处理方便等特征,因此x射线衍射分析法作为材料结构和成分分析的一种现代科学方法,已在建筑材料、化学、生物等科学研究和行业生产中广泛应用。
采用xrd技术可进行物相的鉴定和定量分析,点阵常数测定,晶粒大小,微观应力,残余应力分析及薄膜分析,平行光路几何用于表面粗糙和不规则形状物体的相鉴定分析,小角x射线散射,直接分析纳米粒子的粒度,孔径分布计算,可进行纳米孔结构分析。
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