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xrd物相分析检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

关于x射线衍射分析（xrd）定义：x射线衍射分析（x-ray diffraction，简称xrd），是利用晶体形成的x射线衍射，对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。分析原理当一束x射线入射到晶体时，首先被原子（电子）所散射，每个原子都是一个新的辐射源，向空间辐射出与入射波同频率的电磁波。由于晶体是由原子、分子或离子按一定规律排列成的晶面组成，这些按周期平行排列的晶面的间距与入射x射线波长有相同的数量级，故由不同晶面散射的x射线相互干涉，---行政xrd物相分析检测，并在符合布拉格方程的空间方向上产生强x射线衍射。布拉格方程2dsinθ=nλ，n=1，2…

其中：d为晶面间距，θ为入射x射线与相应晶面的夹角，λ为x射线的波长，n为衍射级数，其含义是：只有照射到相邻两晶面的光程差是x射线波长的n倍时才产生衍射。