xrd物相分析检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
●当材料中存在单向拉应力时，平行于应力方向的(hki)晶面间距收缩减小(衍射角增大)
●垂直于应力方向的同族晶面间距拉伸增大(衍射角减小)
●其它方向的同族晶面间距及衍射角则处于中间。●当材料中存在压应力时，其晶面间距及衍射角的变化与拉应力相反。材料中宏观应力越大，不同方位同族晶面间距或衍射角之差异就越明显，这是测试宏观应力的理论基础。●由于x射线穿透---较浅(约10μm)，材料表面应力通常表现为二维应力状态，法线方向的应力(σz)为零。φ及ψ为空间任意方向op的网个万位用，εφψ为材料沿op方向的弹性应变，σx及σy分别为x及y方向正应力。此外，还存在切应力τxy
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晶面衍射方位角ψ
依据光学的反射定律，参与衍射的晶面，其法线必定处于入射线与反射线的角平分线方位上，如图2所示。衍射晶面法线与试样表面法线的夹角即为衍射晶面法线方位角，通常用ψ表示。
依据布拉格定律，可以测定ψ所对应方位上的晶面间距dψ。如果已知无应力状态的晶面间距d0，便可以测定方位上的晶格应变εψ。sin2ψ法的适用范围
s1，s2与s3为试样表面坐标轴，s1由研究人员定义。图3为x射线衍射残余应力测定坐标系统。
依据广义胡克定律，这些晶面的应变是由o点的应力张量决定的，并且与φ、ψ的正余弦、材料的杨氏模量和泊松比等参量密切相关。因此，xrd物相分析检测分析，有可能依据这些的关系求得o点的三维应力，包括应力σφ。由弹性力学可以导出op方向上的应变的表达式。对于大多数材料和零部件来说，x射线穿透---只有几微米至几十微米，因此通常假定σ33=0。欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~xrd物相分析检测
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●应力常数
?晶体中普遍存在各向---，xrd物相分析检测机构，不同晶向具有不同弹性模量，如果利用平均弹性模量来求解x射线应力常数，势必会产生一定误差。
?对已知材料进行应力测定时，可通过查表获取待测晶面的应力常数。
?对于未知材料，甘肃xrd物相分析检测，只能通过实验方法测定其应力常数。
3) 数据处理
●采集到---的原始衍射数据后，xrd物相分析检测价格，还必须经过一定的数据处理及计算，终才能获得---的应力数值。
数据处理包括:
?衍射峰形处理
?确定衍射峰位
?应力计算及误差分析
目前计算机已十分普及，许多复杂数学计算都变得容易，给数据处理工作带来方便。
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