半导体研究所----行政xrd摇摆曲线检测

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二次粒子质谱是借助入射粒子的轰击功能，将样品表面原子溅出，xrd摇摆曲线检测多少钱，由质谱仪测定二次粒子，根据质谱峰位的数，可以确定二次离子所属的元素和化合物，从而可测定表面元素的组成。这是一种常用的表面分析技术。其特点是高灵敏度和高分辨率。

利用二次离子质谱对掺杂元素的---灵敏度的特点，对样品的注入条件进行分析，在生产中可以进行离子注入机台的校验，并确定新机台的可以投入生产。同时，二次离子质谱对于cvd沉积工艺的监控尤其是硼磷元素的分布和生长比率等方面有的作用。通过二次离子质谱结果的分析帮助cvd---进行生长条件的调节，确定沉积工艺条件。对于杂质污染的分析，可以对样品表面结构和杂质掺杂情况进行详细了解，---芯片的有源区的洁净生长，对器件的电性及---性起到---的作用。对掺杂元素退火后的形貌分析研究发现通过改变掺杂元素的---分布，来---器件的电学性能达到设计要求。可以帮助ltd进行新工艺的研究对于90nm/65nm/45nm新产品开发起到很大作用。

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当出现第二相或不均匀区时才会发生散射，且散射角度随着散射体尺寸的增大而减小。

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