xrd薄膜检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
侧倾法
侧倾法的衍射几何特点是平面与测角仪2θ扫描平面垂直。由于2θ扫描平面不再占据ψ角转动空间，二者互不影响，ψ角设置受任何---。优点:
·扫描平面与ψ角转动平面垂直，在各个ψ角衍射线经过的试样路程近乎相等，因此不必考虑吸收因子的影响；
·由于ψ角与2θ扫描角互不---，四川xrd薄膜检测，因而增大这两个角度的应用范围;
·衍射几何对称性好，有效减小散焦的影响，---衍射谱线的对称性。
缺点:
ψ角与2θ角占据互相垂直的两个平面，需要足够的空间。对角焊缝、齿根等的应力测试比较困难。
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ψ角设置
?如果被测材料无明显织构，并且衍射效应---，衍射计数强度较高，在每一个φ角下只设置两个ψ角即可，例如较为典型的0°～45°法，这样在---一定测试精度的前提下，可以提高测试的速度，节省仪器的使用资源。
?一般情况下，xrd薄膜检测分析，在每个φ角下，ψ角设置越多则应力测试精度就越高。
?对于多ψ角情况的应力测试，ψ角间隔划分原则是尽量---各个sin2ψ值为等间隔，例如ψ角可设置为0°、24° 、35°及45°，这是一种较为典型的ψ角系列。
●辐射波长与衍射晶面
?为减小测试误差，在应力测试过程中尽可能选择高角衍射，而实现高角衍射的途径则是选择合适辐射波长及衍射晶面。
?由于x射线应力常数k与cotθ0值成正比，而待测应力又与应力常数成正比，因此布拉格角θ0越大则k越小，xrd薄膜检测测试，应力的测试误差就越小。
?辐射波长还影响穿透---，波长越短则穿透---越大，参与衍射的晶粒就越多。
?选则高角衍射还可以有效减小仪器的机械调整误差等。
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aoi的中文全称是自动光学检测，是基于光学原理来对焊接生产中遇到的常见缺陷进行检测的设备。aoi是新兴起的一种新型测试技术，但发展迅速，很多厂家都推出了aoi测试设备。当自动检测时，机器通过---头自动扫描pcb，采集图像，测试的焊点与数据库中的合格的参数进行比较，经过图像处理，检查出pcb上缺陷，并通过显示器或自动标志把缺陷显示/标示出来，供维修人员修整。
运用高速---视觉处理技术自动检测pcb板上各种不同贴装错误及焊接缺陷。pcb板的范围可从细间距高密度板到低密度大尺寸板，并可提供在线检测方案，以提高生产效率，及焊接。通过使用aoi作为减少缺陷的工具，在装配工艺过程的早期查找和消除错误，以实现---的过程控制。早期发现缺陷将避免将坏板送到随后的装配阶段，aoi将减少修理成本将避免报废不可修理的电路板。
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