半导体xrd研究所-新疆维吾尔自治xrd薄膜检测

xrd薄膜检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

首先，我们必须强调的是xrd做含量分析非常不准，如果非要说检出限是多少主要是由什么决定的，那就是由仪器的功率和管电流决定的，如果要表征元素的含量---化学方法测或者原子吸收来做。

另外，xrd的检测限是不能简单的用％来表示的，这和被检测物质的分散度有很大关系，也就是结晶度，与物质种类也有很大关系，样品的吸收系数大，检出限会高很多。如果非要确定出一个检出限，一般说是5%左右。但是，不同的物相，对x射线的吸收不同，则检出限会有较大出入。如单质硅，一般在1%左右可以检出，而另一些相，可能10%都难于检出。当然。在样品相同的情况下，新疆维吾尔自治xrd薄膜检测，使用较高的衍射功率，使用较长的扫描时间效果会---。不过，如果要延长扫描时间，如果延长一两倍是见不到效果的。

经验表明，如果使用常规的扫描速度能看到某种存在的迹象，那么，xrd薄膜检测平台，再采用1度/min或更慢的速度来扫描。如果使用常规扫描速度---都看不到痕迹，就没有---再费力了。进行半定量分析确实是很不准确，而且结果确实与晶粒大小相关。晶粒小的析出相，连检出都困难，更别说做定量分析了。晶粒小的物相会使其rir值增大，曾做过ceo2的rir值，在不同的温度下的产物，其rir值相差10倍。

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应力测量要注意的问题

●常规的x射线应力测试，只是对无粗晶和无织构的材料才有效，否则会给测试工作带来一定难度。

●对于非理想组织结构的材料，必须采用特殊的方法或手段来进行测试，但某些问题迄今未获得较为---的解决。

●如果晶粒粗大，各晶面族对应的德拜环则不连续，当探测器横扫过各个衍射环时，所测得衍射强度或大或小，衍射峰强度波动很大，依据这些衍射峰测得的应力值是不准确的。

●为使德拜环连续，获得满意的衍射峰形，必须增加参与衍射的晶粒数目。

●为此，对粗晶材料一般采用回摆法进行应力测量。目前的大多数衍射仪或应力仪，都具备回摆法的功能。

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