福建单晶xrd检测-半导体单晶xrd---

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    2023-7-7

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单晶xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,单晶xrd检测报告,以及行业应用技术开发。

通常称为晶块尺寸或晶粒尺寸。计算晶块尺寸时,单晶xrd检测哪里可以做,一般采用低角度的衍射线。但是,如果晶块尺寸较大,可用较高衍射角的衍射线。

使用谢乐公式计算晶粒尺寸时,若晶粒尺寸在30nm左右,计算结果较为准确。此公式适用范围为size<100nm。判断一个样品是否存在晶粒细化的依据是:衍射峰宽化与衍射角的余弦成反比。

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xrd常用于测试金属、非金属、无机材料和有一定结晶的高分子材料的物相分析。在样品测试形态上,一般为干燥的粉末,块体或者薄膜结构。

技术特点

常规测试中,xrd更多地被用于对材料进行物相定性分析,而对于物相结构的定量分析而言,xrd一般只能检测样品含量在1%以上的物相,准确度一般为1%的数量级。

需要注意的是,xrd不能通过直接测量衍射峰的面积来求物相的含量。因为对于xrd图谱而言,单晶xrd检测分析,其测定的衍射强度是经过试样吸收之后表现出来的,这意味着衍射强度还与吸收系数有关,而吸收系数又依赖于物相浓度。所以要测某个物相的含量,首先必须明确衍射强度、物相含量和吸收系数之间的关系。

常规定量分析方法有:外标法、内标法、k值法、直接对比法、绝热法等。目前,做物相定量分析可以利用reitveld结构精修的办法进行数学处理得出各物相的具体含量。一般不用xrd来分析体相元素含量,通常是用它来分析不同结构的含量。与其他技术相比,xrd可以用来区分具有相同元素但不同物相的物质,如锐钛矿tio2和金红石tio2。

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应力测量要注意的问题

●常规的x射线应力测试,只是对无粗晶和无织构的材料才有效,否则会给测试工作带来一定难度。

●对于非理想组织结构的材料,必须采用特殊的方法或手段来进行测试,但某些问题迄今未获得较为---的解决。

●如果晶粒粗大,各晶面族对应的德拜环则不连续,当探测器横扫过各个衍射环时,福建单晶xrd检测,所测得衍射强度或大或小,衍射峰强度波动很大,依据这些衍射峰测得的应力值是不准确的。

●为使德拜环连续,获得满意的衍射峰形,必须增加参与衍射的晶粒数目。

●为此,对粗晶材料一般采用回摆法进行应力测量。目前的大多数衍射仪或应力仪,都具备回摆法的功能。

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