安徽xrd掠入射(gixrd)检测-半导体xrd薄膜测试

xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

样品的结构精修是以某一结构为初始值进行修正的。具有步骤如下：

(1) 物相检索，对物相的“初始结构”。

(2) 扣背景和kα2、对图谱作平滑处理。

(3) 物相衍射峰的拟合。如果样品中存在几个物相，则全部衍射峰都要参与拟合。

(4) 选择菜单“opti-cell refinement”命令，开始精修。

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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

相干散射

物质对x射线散射的实质是物质中的电子与光子的相互作用。当入射光子碰撞电子后，若电子能牢固地保持在原来位置上（原子对电子的束缚力很强），xrd掠入射（gixrd）检测测试，则光子将产生刚性碰撞，xrd掠入射（gixrd）检测报告，其作用效果是辐射出电磁波——散射波。这种散射波的波长和频率与入射波完全相同，新的散射波之间将可以发生相互干涉——相干散射。x射线的衍射现象正是基于相干散射之上的。

 x射线管

衍射用的x射线管实际上都属于热电子二极管，有密封式和转靶式两种。前者大功率不超过2.5kw，视靶材料的不同而异；后者是为获得高强度的x射线而设计的，一般功率在10kw以上。

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