xrd倒易空间(rsm)检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
原位xrd的测试可以在短时间内得到大量可对比信息,由于原位测试的整个过程是对同一个材料的同一个位置的测试,xrd倒易空间(rsm)检测实验室,因此得到的信息(无论是晶胞参数还是峰强度,还是其他的参数)都是具有相对可比性的。
而非原位xrd得到的信息相对可比性较差且对测试过程中的操作要求较高,比如,极片拆卸洗涤后如果极片处于褶皱状态,材料测试的会产生高低变化,测到的xrd的峰会发生偏移,xrd倒易空间(rsm)检测哪里可以做,相应的精修得到的晶胞参数也会有所变化;而不同极片活性材料和分布必然存在不同,这也必然导致不同充放电状态下的峰强可比性是比较差的。
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不能精修的原因与解决办法
选择精修命令后,有时会出现“unable to graft hkl’s to peaks”的提示。表明不能进行精修。其原因有两种:一是有些拟合的峰没有对应的(hkl)标记。例如,测量铁素体的5条线,但检索pdf卡片只有前3条线,3条衍射线不能进行精修。二是衍射峰位相对于“选定结构 (标准卡片)”的峰位偏离太多。
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xrd常用于测试金属、非金属、无机材料和有一定结晶的高分子材料的物相分析。在样品测试形态上,一般为干燥的粉末,块体或者薄膜结构。
技术特点
常规测试中,xrd更多地被用于对材料进行物相定性分析,而对于物相结构的定量分析而言,xrd一般只能检测样品含量在1%以上的物相,准确度一般为1%的数量级。
需要注意的是,xrd不能通过直接测量衍射峰的面积来求物相的含量。因为对于xrd图谱而言,其测定的衍射强度是经过试样吸收之后表现出来的,xrd倒易空间(rsm)检测服务,这意味着衍射强度还与吸收系数有关,而吸收系数又依赖于物相浓度。所以要测某个物相的含量,首先必须明确衍射强度、物相含量和吸收系数之间的关系。
常规定量分析方法有:外标法、内标法、k值法、直接对比法、绝热法等。目前,做物相定量分析可以利用reitveld结构精修的办法进行数学处理得出各物相的具体含量。一般不用xrd来分析体相元素含量,通常是用它来分析不同结构的含量。与其他技术相比,xrd可以用来区分具有相同元素但不同物相的物质,如锐钛矿tio2和金红石tio2。
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