xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
x射线衍射仪(xrd)相关术语解释
步进扫描粉末衍射仪的一种工作方式（扫描方式）。试样每转动一步（固定的δθ）就停下来，测量记录系统开始测量该位置上的衍射强度。强度的测量也有两种方式：定时计数方式和定数计时方式。然后试样再转过一步，再进行强度测量。如此一步步进行下去，完成角度范围内衍射图的扫描。
用记录仪记录衍射图时，采用步进扫描方式的优点是不受计数率表rc的影响，没有滞后及rc的平滑效应，分辨率不受rc影响；尤其它在衍射线强度极弱或背底---时---有用，在两者共存时更是如此。因为采用步进扫描时，可以在每个θ角处作较长时间的计数测量，以得到较大的每步总计数，从而可减小计数统计起伏的影响。
步进扫描一般耗费时间较多，因而须认真考虑其参数。选择步进宽度时需考虑两个因素：一是所用接收狭缝宽度，步进宽度至少不应大于狭缝宽度所对应的角度；二是所测衍射线线形的尖锐程度，步进宽度过大则会降低分辨率甚至掩盖衍射线剖面的细节。为此，步进宽度不应大于尖锐峰的半高度宽的1/2。但是，也不宜使步进宽度过小。步进时间即每步停留的测量时间，若长一些，可减小计数统计误差，提高准确度与灵敏度，但将损失工作效率。
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xrd图谱中某个衍射峰的峰高、峰宽和峰面积分别表示什么
首先要区别是什么物质的xrd图谱，比如单晶、多晶（粉末）等.
峰高：对多晶来说，xrd掠入射（gixrd）检测哪里可以做，峰高由同方向排列的晶面分布数量(texture)决定，即：若所有晶粒为同方向排列，则此时各个晶面的峰高要大于无规律排列的晶粒. 而同一图谱中不同峰高则是由每个峰对应的晶面数量决定.
另外，如果样品不为纯晶体，而同时存在非晶体的情况下，不同xrd图像同一位置角度对应的 峰高不同则反映了晶体成分的多少. 晶体化程度越高，相应的峰越高.
峰宽：一般分析多的数值是fwhm(半峰全宽). 峰宽受很多因素影响：从仪器角度说，xrd掠入射（gixrd）检测实验室，因素为所用x射线的波长分布，即使是单色x射线也不完全只有确定波长； 从多晶样品角度说，fwhm和晶粒大小成反比，xrd掠入射（gixrd）检测测试，即，晶粒直径越小对应的fwhm越大， 具体计算可以参考scherrer equation.
峰面积：也称为integral intensity. 这个值同样不是由某单一值决定，和样品本身相关的量有：该峰对应晶面的数量，晶胞体积，晶粒体积，structure factor等.
以上只是粗略说明，具体情况还是需要具体分析.
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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释
防散射狭缝测角仪上用来防止一些附加散射（如各狭缝光阑边缘的散射，光路上其它金属附件的散射）进入检测器，有助于减低背景。防散射狭缝是光路中的辅助狭缝，它能---由于不同原因产生的附加散射进入检测器。例如光路中空气的散射、狭缝边缘的散射、样品框的散射等等。此狭缝如果选用得当，可以得到低的背底，而衍射线强度的降低不超过2％。如果衍射线强度损失太多，则应改较宽的防散射狭缝。
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