半导体xrd物相分析-xrd掠入射(gixrd)检测平台

xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

能量分辨

是指检测器接收某一能量的（某---长射线的光），所输出脉冲信号的平均幅度与入射的能量成正比的特性。

闪烁检测器是各种晶体x射线衍射工作中通用性能好的检测器。它的主要优点是：对于晶体x射线衍射使用的x射线均具有---甚至达到100%的效率；使用---，稳定性好；此外，它和pc一样，具有很短的分辨时间（10-7秒数量级），因而实际上不必考虑由于检测器本身的---所带来的计数损失；它和pc一样，对晶体衍射工作使用的软x射线也有一定的能量分辨本领。因此通常x射线粉末衍射仪配用的是闪烁检测器。

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应力测量要注意的问题

●常规的x射线应力测试，北京xrd掠入射（gixrd）检测，只是对无粗晶和无织构的材料才有效，否则会给测试工作带来一定难度。

●对于非理想组织结构的材料，xrd掠入射（gixrd）检测测试，必须采用特殊的方法或手段来进行测试，但某些问题迄今未获得较为---的解决。

●如果晶粒粗大，各晶面族对应的德拜环则不连续，当探测器横扫过各个衍射环时，所测得衍射强度或大或小，衍射峰强度波动很大，依据这些衍射峰测得的应力值是不准确的。

●为使德拜环连续，获得满意的衍射峰形，必须增加参与衍射的晶粒数目。

●为此，对粗晶材料一般采用回摆法进行应力测量。目前的大多数衍射仪或应力仪，都具备回摆法的功能。

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