xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，xrd掠入射（gixrd）检测报告，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
x射线衍射仪(xrd)相关术语解释
相干散射
物质对x射线散射的实质是物质中的电子与光子的相互作用。当入射光子碰撞电子后，若电子能牢固地保持在原来位置上（原子对电子的束缚力很强），则光子将产生刚性碰撞，其作用效果是辐射出电磁波——散射波。这种散射波的波长和频率与入射波完全相同，新的散射波之间将可以发生相互干涉——相干散射。x射线的衍射现象正是基于相干散射之上的。
x射线管
衍射用的x射线管实际上都属于热电子二极管，有密封式和转靶式两种。前者大功率不超过2.5kw，视靶材料的不同而异；后者是为获得高强度的x射线而设计的，一般功率在10kw以上。
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应力计算
?读入原始数据文件，或按ψ角由小到大的顺序读入5个独立文件
?作---的图谱平滑处理
?选择calculate stress
?在每个数据行的ψ列下单击，输入不同的ψ值;
?在e=和υ=位置分别输入样品的弹性模量和泊松比;
?按“fit all按钮，拟合全部ψ角下的曲线；
?在窗口下端显示样品的残余应力:
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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释
粉末衍射仪
粉末衍射仪是目前研究粉末的x射线衍射常用而又方便的设备。它的光路系统设计采用---光束型的衍射几何，一般使用普通的nai(tl)闪烁检测器或正比计数管检测器以电子学方法进行衍射强度的测量；衍射角的测量则通过一台精密的机械测角仪来实现。
测角仪
是粉末衍射仪上精密的机械部件，用来测量衍射角。
发散狭缝
测角仪上用来---发散光束的宽度。发散狭缝的宽度决定了入射x射线束在扫描平面上的发散角。
接收狭缝
测角仪上用来---所接收的衍射光束的宽度。接收狭缝是为了---待测角度位置附近区域之外的x射线进入检测器，它的宽度对衍射仪的分辨能力、线的强度以及峰高/背底比有着重要的影响作用。
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