半导体研究所-安徽xrd掠入射(gixrd)检测

xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

jade通常并没有包含物相定量分析的模块。但是，可以通过jade计算出物相的衍射强度，进而进行物相分数的计算。但是，在计算过程中，有几个问题值得注意

衍射强度的表示问题

物相的衍射强度既可以用衍射峰的高度也可以用衍射峰的面积来表示。通过jade可以得到4种物相衍射强度的数据：寻峰峰高、寻峰面积；拟合峰高、拟合面积。而峰高和峰面积的关系是：面积=峰高*fwhm。

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用origin计算残余应力

?分别测量φ=0，15，25，35，45°的衍射谱；

?用jade5打开各个衍射谱，做拟合，安徽xrd掠入射（gixrd）检测，得到峰位(也可以将衍射图数据转换成txt文本文件，再用origin绘制图谱做拟合，求峰位);

?用excel建立sin2 ψ-2θ表；●用origin作sin2 ψ-2θ图并作直线拟合，得到斜率m；●查找材料的弹性模量和泊松比，计算弹性常数k；

●按σ=km计算应力。

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