半导体xrd物相分析-xrd摇摆曲线检测实验室

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    2023-8-1

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广东省科学院半导体研究所提供半导体xrd物相分析-xrd摇摆曲线检测实验室。






xrd摇摆曲线检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,xrd摇摆曲线检测,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,xrd摇摆曲线检测平台,以及行业应用技术开发。

x射线衍射的方向体现在xrd谱的横坐标,x射线衍射强度记录在xrd谱的峰强,解析xrd谱可以获得晶体结构、晶相晶系等的信息。

对无机材料测试研究、金属材料、纳米材料、超导材料、高分子材料等等应用领域都有---的应用。

x射线衍射对无机材料、金属的分析,常作的就是对材料的物相的定性分析,把对材料测得的点阵平面间距及衍射强度与标准物质物相的衍射数据相比较,确定材料中存在的物相是什么物相?晶体结构是属于立方晶体、四方晶体、六方晶体、三方晶体、正交晶体、三斜晶系、单斜晶系的那一种?空间点阵是14种空间点阵中的哪一种?

再进一步的就是进行x射线衍射物相定量分析,根据衍射花样的强度,确定材料中各物相的含量,作出含量比例的计算判断。



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样品成分的限定

样品元素限定是缩小检索范围的有效手段。因此,我们在进行x射线衍射物相分析之前应当先做样品的元素分析,只有这样,才能准确并且正确地检索出样品中的全部物相。

成分限定的要点是:

(1) 只选样品中的主要元素。

(2) 选择4个元素。当样品成分比较复杂,含有元素种类较多时,优先选择量多的元素,并且每次只选择不多于4个元素,否则,检索范围过大,会影响检索结果。

(3) 尝试非金属元素c,h,o。有时,样品会发生吸潮、氧化、腐蚀,在按已知元素检索不出物相时,要考虑样品是否发生这种反应。

(4) 尝试不同的元素组合。由于衍射谱受固溶、择尤取向等影响,导致衍射峰位偏离正常位置或者峰强不匹配,在很多情况下,会有一些物相检索不出来,应当试探特定元素组合的存在。

当样品中元素种类太多时,检索结果可能不准确。因此,xrd摇摆曲线检测实验室,应当反复检索几次,并对比几次的检索结果,然后才作出终的结论。


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应力测量要注意的问题

●常规的x射线应力测试,只是对无粗晶和无织构的材料才有效,否则会给测试工作带来一定难度。

●对于非理想组织结构的材料,必须采用特殊的方法或手段来进行测试,但某些问题迄今未获得较为---的解决。

●如果晶粒粗大,各晶面族对应的德拜环则不连续,当探测器横扫过各个衍射环时,所测得衍射强度或大或小,衍射峰强度波动很大,依据这些衍射峰测得的应力值是不准确的。

●为使德拜环连续,获得满意的衍射峰形,---行政xrd摇摆曲线检测,必须增加参与衍射的晶粒数目。

●为此,对粗晶材料一般采用回摆法进行应力测量。目前的大多数衍射仪或应力仪,都具备回摆法的功能。

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