半导体单晶xrd----江苏xrd物相分析检测

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    2023-8-7

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xrd物相分析检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

密封式管

这是常使用的x射线管,它的靶和灯丝密封在高真空的壳体内。壳体上有对x射线“透明”的x射线出射“窗孔”。靶和灯丝不能更换,如果需要使用另一种靶,xrd物相分析检测,就需要换用另一只相应靶材的管子。这种管子使用方便,但若灯丝烧断后它的寿命也就完全终结了。密封式x射线管的寿命一般为1000—2000小时,它的报废往往并不是与因灯丝损坏,而是由于靶面被熔毁或因受到钨蒸气及管内受热部分金属的污染,致使发射的x射线谱线“不纯”而被废用。

可拆式管

这种x射线管在动真空下工作,配有真空系统,使用时需抽真空使管内真空度达到10-5毫帕或---的真空度。不同元素的靶可以随时更换,灯丝损坏后也可以更换,这种管的寿命可以说是的。




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同时存在晶粒细化与微应变

令k=1,作图,xrd物相分析检测多少钱,用小二乘法作直线拟合,则从直线的斜率可求出微观应变;而直线在纵坐标上的截距即为晶块尺寸的倒数。

晶粒尺寸与微观应变计算时应当注意的问题

首先,应当正确地判断样品的衍射峰宽化的原因。jade采用作图法,如果数据点基本上是在一条水平线附近,则应当只有晶粒细化的因素存在;若数据点保持在一条斜线附近,则表明有微应变存在。此时应进一步判断是否除微应变外是否还存在晶粒细化。

其次,测量前应当制作相应的仪器宽度曲线。测量仪器宽度曲线的样品应当是粗晶粒且无应变的粉末样品。仪器宽度曲线的测量应当与样品的测量条件相同。不同的测量条件可能导致不同的仪器宽度变化规律。

后,合适的拟合条件也是很重要的,不同的拟合参数可能会得到不同的计算结果。


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jade的物相检索功能是非常---的,通过软件基本上能检索出样品中全部物相。物相检索的步骤包括:

(1) 给出检索条件:包括检索子库(有机还是无机、矿物还是金属等等)、样品中可能存在的元素等;

(2) 计算机按照给定的检索条件进行检索,将可能存在的---0种物相列出一个表;

(3)、从列表中检定出一定存在的物相(人工完成)。



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