重庆xrd晶粒尺寸检测-半导体xrd薄膜测试

xrd晶粒尺寸检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

用origin计算残余应力

?分别测量φ=0，15，25，重庆xrd晶粒尺寸检测，35，45°的衍射谱；

?用jade5打开各个衍射谱，做拟合，得到峰位(也可以将衍射图数据转换成txt文本文件，再用origin绘制图谱做拟合，求峰位);

?用excel建立sin2 ψ-2θ表；●用origin作sin2 ψ-2θ图并作直线拟合，得到斜率m；●查找材料的弹性模量和泊松比，计算弹性常数k；

●按σ=km计算应力。

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一般人认为，通过x射线衍射方法就能了解样品中存在某些元素，其实这是一个误解。x射线衍射是一种结构分析手段，而不是元素分析手段，有很多物相虽然结构上也存在微小的差别，但是x射线衍射物相分析并不能真正区分它们。x射线衍射物相分析的目的应当是在已知样品元素组成的情况下检测这些元素的赋存状态。

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