xrd小角度检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,xrd小角度检测平台,以及行业应用技术开发。
x射线衍射,通过对材料进行x射线衍射,分析其衍射图谱,获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。得益于同步辐射光源自身具有光子高通量以及更高的准直性等优点,往往会得到更多、---的衍射信号,这对后续的数据分析提供了更多的可能性。原位xrd作为一种xrd的衍生测试手段,可以---的解决非原位xrd测试过程中的诸多问题,目前已在锂离子电极材料测试中得到了---的运用,能够实时检测电极材料。
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应力测量要注意的问题
●常规的x射线应力测试,甘肃xrd小角度检测,只是对无粗晶和无织构的材料才有效,否则会给测试工作带来一定难度。
●对于非理想组织结构的材料,必须采用特殊的方法或手段来进行测试,但某些问题迄今未获得较为---的解决。
●如果晶粒粗大,各晶面族对应的德拜环则不连续,当探测器横扫过各个衍射环时,所测得衍射强度或大或小,衍射峰强度波动很大,依据这些衍射峰测得的应力值是不准确的。
●为使德拜环连续,获得满意的衍射峰形,必须增加参与衍射的晶粒数目。
●为此,对粗晶材料一般采用回摆法进行应力测量。目前的大多数衍射仪或应力仪,都具备回摆法的功能。
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结构精修通常分为两个步骤:先通过标准样品的测量,校正仪器精度;然后通过被测样品的峰位进行晶胞参数的修正。
仪器角度校正
选用标准硅样品,用与被测样品相同的实验条件测量标准样品的全谱。校正仪器角度误差。具有步骤为:
(1) 对标准样品的衍射谱进行物相检索、扣背景和kα2、平滑、全谱拟合后,选择菜单“---yze-theta calibration f5”命令,在打开的对话框中单击calibrate,xrd小角度检测多少钱,显示出仪器的角度补正曲线(即仪器角度误差随衍射角的变化曲线)。
(2) 单击“save curve”命令,将当前角度补正曲线保存起来。
(3) 选中“calibrate patterns on loading automatically”。这样,当被测样品的衍射图谱调入时jade自动作角度补正(仪器角度误差校正)。
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