海南xrd残余应力检测-半导体xrd薄膜测试

xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，xrd残余应力检测报告，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

应力测量要注意的问题

●材料中织构，主要影响应力测试2θ与sin2ψ的线---，海南xrd残余应力检测，影响机制有两种观点：一种观点认为，2θ与sin2ψ的非线性，是由于在形成织构过程中的不均匀塑性变形所致；另一观点则认为，xrd残余应力检测机构，这种非线性与材料中各向---有关，不同方位即ψ角的同族晶---有不同的应力常数k值，从而影响到2θ与sin2ψ 的线---。

●由于理论认识上的局限，使得织构材料x射线应力测试技术一直未获得重大突破。

●目前没有先决条件并具有一定实用意义的方法是，测试高指数的衍射晶面。

●选择高指数晶面，增加了所采集晶粒群的晶粒数目，从而增加了平均化的作用，削弱了择优取向的影响。

●这种方法的缺点是，对于钢材必须采用波长很短的mo-kα线，而且要滤去多余的荧光辐射，所获得的衍射峰强度不---。

●采用单晶应力测试技术，也是解决织构应力测定的有效方法。

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